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苏州星源-和大家讨论净化工程无尘室指标

点击次数:140 发布时间:2021-01-03

苏州星源-和大家讨论净化工程无尘室指标

 

 

 

苏州星源-和大家讨论净化工程无尘室指标

 

净化工程无尘室指标苏州星源洁净

 

 

半导体工业是极精密的工业,当我们把计算机拆开之后,在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。为了让这些极小的晶体管妥善的工作,制造的过程必须在无尘室内进行,集成电路制造的工厂动辄需要数十亿、数百亿的投资,多因为需要一个无尘室。    

  所谓的无尘室是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路技术的快速成长,也增加了对制造环境(无尘室)洁静度的需求,在工业上即使粒子之尺寸小于1微米,也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。 由于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断的增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒地落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。    

依据美国联邦颁布的标准【Federal Standard (FS) 209E, 1992】,可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸为0.5µm,例如,1级、10级、100级无尘室尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗每立方英尺,如果尘粒尺寸不是0.5µm,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2µm(尘粒尺寸在0.2µm或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1µm(尘粒尺寸在0.1µm或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。

为保持无尘室的洁净度,进出的人员有一定的穿著规定;10000与100000级,必须穿著长袍无尘衣、无尘鞋、带帽子与面罩;1000级(含)以上,需穿著特殊的洁净连身衣、无尘鞋将全身裹住,并带上手套和面罩。

无尘室净化指标项

1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。

⒉ 能防止微尘粒子之产生。

⒊ 温度和湿度之控制。

⒋ 压力之调节。

⒌ 有害气体之排除。

⒍ 结构物与隔间之气密性。

⒎ 静电之防制。

⒏ 电磁干扰预防。

⒐ 安全因素之考虑。

⒑ 节能之考量。

⒒照度的的调节

 

 

 

 

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